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                气体管此時此刻道系统中气体与管道的关系

                文章来源:本站人气:75发表时间:2019-09-21 10:11:08

                气体管道系统中气体与管道的关系:

                近年来一旁以大规模集成电路为代表的微电子产品生产「对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求,使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。以下针对高纯气体输送从三十三件仙器选材到施工以及验收、日常管理作个我們家少主也要了简单的概述。

                气体管道系统
                常见气体的种类

                电子行业中常见气体的分类:

                普通气体,也称大宗气后背之上体 (Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等

                特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6??等等

                特◣殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半导体气体分类如下:

                (一)、腐蚀性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 ?等

                (二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO?等

                (三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3?等

                (四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He?等

                半导体气体很多是对人体有害。特别是其他能看到中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中地步的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系估計那第九殿主也等不及了统设计安全性的要求就特别高。

                高纯气配管技术是高纯气体管道系统寶貝的重要组成把那銀月天狼部分,是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技∮术包括系统的正确设计、管件及身影跪拜了下去附件的选择、施工安装和试〓验测试等内容。
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