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                SCRUBBER特气尾气处理系统

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                生产设备特气废气处理:可燃性、毒性∏气体无害化的处理设备。分为燃烧式、加热分解式、湿式、触媒式等离√子、分解式、吸着式等,沃飞提供最佳的废气处▽理系统。

                尾气处理系统Scrubber


                一.主要特点

                1. 独立燃烧在修真界方式,完全燃烧之火焰涡流:可燃性毒性气∑体从低浓度至100%浓度均可用轟高温处理;

                2. SiH4与NF3、NO2同时燃烧:SiH4与NF3、NO2可以同时于燃烧室中一起 燃烧;

                3. 基本功能△之安全设计:异常情况发生时,诊断机能会㊣ 自动安全处理;

                4. 使用刮刀方式,粉尘处理容易:燃烧●室内部之附着粉尘,可使用独立之刮刀容易且确实地清除;

                5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各种型式:燃料气体可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 种型式;

                6. 保养简单:保养可 這在极短的时间内完成々,费用也低廉;

                7. 高信赖性:构∞造简单且零件数少,值得高度信眼中充滿了不可思議赖。

                二.处理气体种类

                可处理气体种类包括☉半导体、液晶以及太阳能等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中使用的特气,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

                三.处理原理

                1. 冷却空气之一部份在燃烧室内形成火焰涡流,制程气体◥会完全卷入燃烧;

                2. Guardian之火焰涡流※可将SiH4等气体,破坏其呼气泡产生;

                3. 冷却空气在机台内部循环,燃烧室外▓部使用空气冷却。并可使排气温度冷却下降,而且可将燃烧后之氧化物排出等多样功能;

                4. 热电对之安全装置,可监视燃烧室温度∩、排气温度、Process Gas导入管温度。另外Photo sensor可监视熄火,差鐺压计可检视排气风量。



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                工程』项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各类实验室、研究所、标准检○测等高科技行业;为客户提實力供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领先的整体系统供应商。


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