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                TFT-LCD行业

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                在TFT-LCD制造工艺CVD沉积工序中使用到的工艺特气:硅烷(S1H4),氨气(NH3),磷烷(PH3),笑气(N2O),NF3等,另外参与工艺过程的还有高纯度氢气和高纯度氮气等大宗气体。溅射工㊣序中要用到氩气,溅射成膜气体是溅射的主要材料。首先要求成膜气体不能喝靶材发生化学反应,最只听见一声大呼一声爆——合适的气体是惰性气体。蚀刻工序中也会用到大量的特气,而电子特气多是你这次又怎么来日本了啊易燃易爆、剧毒的气体,因此对气路的要求很高,技术也要求很高。沃飞科技专业从事超高纯特气输送系统的设计与安装。


                特气系统概念图


                公司专业致力于快乐时时彩,其主要产品有减压阀,卡套接头,阀门管件,管ξ 道系统安装、球阀针阀、VCR接头、焊接接头、阻火器、过滤器、气◇体管道系统、高纯管道系其实大千世界统、不锈钢洁净管等产品,是一家专业从事∩高纯度/特气供气系统、各种▅实验室/研究所供气系统、快乐时时彩、安装调试服务于一体的问高新技术企业,系统应∏用于tft-lcd产业 包括:TFT-LCDAM-OLEDOLEDPDP、平板玻璃︽基板、偏光片、手机触摸屏、触容屏等


                特气系统

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